सीएफ 4 गैस

टेट्राफ्लुओरोमेथेन, जिसे कार्बन टेट्राफ्लुओराइड या आर -14 के रूप में भी जाना जाता है, सबसे सरल पेरफ्लुओरोकार्बन (सीएफ 4) . है, जैसा कि इसका IUPAC नाम इंगित करता है, टेट्राफ्लोरोमेथेन ह्यूड्रोसनर के लिए भी है। Halomethane . tetrafluoromethane एक उपयोगी सर्द है, लेकिन एक शक्तिशाली ग्रीनहाउस गैस . भी कार्बन -फ्लूरिन बॉन्ड . की प्रकृति के कारण बहुत अधिक बंधन शक्ति है।

कार्बन टेट्राफ्लुओराइड

CAS: 75-73-0

संयुक्त राष्ट्र: 1982

Einecs: 200-896-5

आणविक सूत्र: CF4

CF4 gas dominates silicon and silicon nitride etching in chip manufacturing, accounting for 45% of all fluorocarbon gases used in fabs. When ionized in plasma, CF4 gas generates reactive fluorine species that etch at rates up to 1 μm/min with excellent anisotropy. Gas mixtures with oxygen or hydrogen allow precise control of selectivity and sidewall profiles. Environmental abatement systems for CF4 gas achieve >1,100 डिग्री पर दहन का उपयोग करते हुए 98% विनाश दक्षता . स्क्रबिंग के बाद चरम पराबैंगनी (EUV) लिथोग्राफी के लिए संक्रमण ने Photomask सफाई अनुप्रयोगों के लिए CF4 गैस की खपत को 20% तक बढ़ा दिया है .}

Tetrafluoromethane का उपयोग कभी -कभी कम तापमान रेफ्रिजरेंट के रूप में किया जाता है (r -14) . इसका उपयोग अकेले इलेक्ट्रॉनिक्स माइक्रोफाइब्रिकेशन में या ऑक्सीजन के साथ संयोजन में सिलिकॉन, सिलिकॉन डाइऑक्साइड, और सिलिकॉन नाइट्राइड के लिए एक प्लाज्मा नक़्क़त के रूप में किया जाता है।

• हमेशा सुरक्षा डेटा शीट (एसडीएस) . के अनुसार उपयोग करें
• सिलेंडर को संग्रहीत किया जाना चाहिए और एक अच्छी तरह से हवादार या मॉनिटर किए गए क्षेत्र में एक ईमानदार, सुरक्षित स्थिति में उपयोग किया जाना चाहिए .
• गैस सिलिंडर को संग्रहीत करते समय हमेशा स्थानीय फायर कोड आवश्यकताओं का पालन करें .
• प्रमुख खतरे: आग, घुटन .

Jiangsu Mr Chersion Co ., Ltd, गैसीय प्रोडक्शंस के दायरे में नवाचार में सबसे आगे खड़ा है, मानक गैसों, विशेष गैसों, उच्च-शुद्धता गैसों और इलेक्ट्रॉनिक गैसों के पूर्ण स्पेक्ट्रम में विशेषज्ञता है इलेक्ट्रॉनिक्स, शिपिंग, कोयला खदान, ऑटोमोबाइल, चिकित्सा, अग्नि सुरक्षा, एयरोस्पेस, भोजन, निर्माण, गलाने, ठीक रासायनिक, प्रसंस्करण और विनिर्माण उद्योग .

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