सल्फर हेक्सफ्लुओराइड गैस
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सल्फर हेक्सफ्लुओराइड गैस

5 एन-ग्रेड सल्फर हेक्सफ्लोराइड का उपयोग सिलिकॉन वेफर्स पर माइक्रोन-लेवल सर्किट पैटर्न को ठीक से उकेरने के लिए एक कुशल नक़्क़ाशी एजेंट के रूप में किया जाता है, साइड वॉल रफनेस या डिवाइस शॉर्ट सर्किट से बचने के लिए अशुद्धियों के कारण शॉर्ट सर्किट .}
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उत्पाद का परिचय

सेमीकंडक्टर एप्लिकेशन परिदृश्य: उन्नत विनिर्माण प्रक्रियाओं की मांगों से मेल खाते हैं

 

प्लाज्मा नक़्क़ाशी

 

5 एन-ग्रेड सल्फर हेक्सफ्लोराइड का उपयोग सिलिकॉन वेफर्स पर माइक्रोन-लेवल सर्किट पैटर्न को ठीक से उकेरने के लिए एक कुशल नक़्क़ाशी एजेंट के रूप में किया जाता है, साइड वॉल रफनेस या डिवाइस शॉर्ट सर्किट से बचने के लिए अशुद्धियों के कारण शॉर्ट सर्किट .}

 

उपकरण सफाई और फिल्म गठन

 

इसकी रासायनिक स्थिरता बयान उपकरणों के गुहा में अवशेषों को हटा सकती है, और एक ही समय में, अलगाव परत के लिए एक डोपिंग एजेंट के रूप में, यह एकल-मोड ऑप्टिकल फाइबर के ऑप्टिकल प्रदर्शन में सुधार कर सकता है और फोटोलिथोग्राफी प्रक्रिया की स्थिरता सुनिश्चित कर सकता है .}

 

सुरक्षा और पर्यावरण संरक्षण विशेषताओं

 

गैर-ज्वलंत और गैर-जंगी होने की आंतरिक रूप से सुरक्षित विशेषताएं वेफर फैब्रिकेशन प्लांटों में भंडारण और उपयोग के जोखिमों को कम करती हैं और अर्धचालक क्लीनरूम के मानकों को पूरा करती हैं .

 

सल्फर हेक्सफ्लुओराइड गैस की उचित हैंडलिंग के लिए विशेष ज्ञान और उपकरणों की आवश्यकता होती है, जो गुणों के अनूठे संयोजन के कारण . है, जबकि SF6 स्वयं गैर-विषाक्तता है, गैस हवा की तुलना में पांच गुना सघन है और सीमित स्थानों में asphyxiation का कारण बन सकती है . ग्रेड, प्रत्येक को थोड़ा अलग हैंडलिंग विचार की आवश्यकता होती है।

 

उच्च शुद्धता सल्फर हेक्सफ्लुओराइड 99 . 999% का भंडारण और हस्तांतरण संदूषण को रोकने के लिए विशेष रूप से देखभाल करता है . विशेष रूप से डिज़ाइन किए गए गैस अलमारियाँ एकीकृत शोधन प्रणाली के साथ इलेक्ट्रॉनिक ग्रेड सल्फर हेक्सफ्लुओराइड की गुणवत्ता को पूरा करें। खतरनाक उपोत्पाद उत्पन्न करें।

 

सल्फर हेक्सफ्लुओराइड कैस 2551-62-4 के लिए आपातकालीन प्रतिक्रिया प्रक्रियाएं पारंपरिक रासायनिक नियंत्रण विधियों के बजाय वेंटिलेशन और वायुमंडलीय निगरानी पर जोर देती हैं . आधुनिक SF6 हैंडलिंग सिस्टम वास्तविक समय गैस सेंसर को शामिल करते हैं, जो कि 100 पीपीएम के रूप में कम है।

 

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